安全、舒適、無污染、經濟性一直是汽車工業和用戶追求的目標。實現這些目標的關鍵在于汽車的電子化和智能化,先決條件則是各種信息的及時獲取,這勢必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統的傳感器往往體積和重量大,成本高,它們在汽車的應用受到很大的限制。??
近年來從半導體集成電路(IC)技術發展而來的MEMS (Microelectromechnical System, 微電子機械系統)技術日漸成熟。利用這一技術可以制作各種能敏感和檢測力學量、磁學量、熱學量、化學量和生物量的微型傳感器,這些傳感器的體積和能耗小,可實現許多全新的功能,便于大批量和高精度生產,單件成本低,易構成大規模和多功能陣列,這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用. 80年代初,微型壓阻式多路絕對壓力(Manifold Absolute Pressure)傳感器開始大批量生產,取代了早期采用LVDT技術的壓力傳感器。80年代中期微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊,它們是到目前為止大量生產的、并在汽車中得到廣泛應用的微型傳感器。然而微型傳感器的大規模應用勢必將不限于發動機燃燒控制和安全氣囊,在未來5~7年內包括發動機運行管理、廢氣與空氣質量控制、ABS(antilock brake system,防抱死系統)、車輛動力學控制、自適應導航、車輛行駛安全系統(如氣囊和障礙物檢測與避撞等)在內的應用將為MEMS技術提供廣闊的市場。
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