力敏傳感器是用來檢測氣體、固體、液體等物質間相互作用力的傳感器。常用材料有半導體、金屬及合成材料。目前常用的主要是硅壓阻式力敏傳感器和電容式力敏傳感器。硅壓力傳感器優點是,靈敏度好、精度高、缺點是受溫度影響大。
力敏傳感器的主要應用于裝備制造業工業自動化系統、機電一體化、科學測試儀器等裝備制造業,主要涉及過程控制用壓力、流量兩大參數的檢測、控制和執行。
汽車制造業
汽車發動機管理系統(EMS),涉及壓力、位置、轉速、加速度等各種信息進行實時、準確的檢測和控制,EMS不僅可精確控制燃油供給量,以取代傳統的“化油器”,而且可以控制點火提前角和總空氣流量,極大提高發動機性能,通過噴油和點火的精確控制,可以降低50%污染物排放。胎壓監測系統是在每一個輪樞內安裝微型壓力傳感器來測量輪胎氣壓,并通過無線電發射器將信息傳到駕駛員前方的監視器上,胎壓太低時,發出自動報警,這樣能保證安全駕駛,延長輪胎使用壽命,并達到省油目的。特別是檢測輪胎氣壓的TPWS系統,充當汽車行業的急先鋒,目前輕型汽車用TPWS更換困難,正在全力開發無線系統的TPWS系統技術;汽車安保系統,防止車輛被盜、傾斜采用二軸加速度傳感器,當發生盜竊時,車輛被托起而導致車輛傾斜而報警,另一種是氣囊用傳感器。
家用電器和消費電子業
家用電器和消費電子業正向自動化、智能化、節能、無污染方向發展,要求力敏元件和傳感器亦與該方向一致,自動化和智能化的中心就是研制由傳感器和微電腦組成的控制系統。如一臺空調器采用微電腦配合傳感技術,可以實現壓縮機的啟動、停機、風扇換向等控制系統。
硅基力敏元和傳感器的應用通常涉及壓力測量、差壓測量、液位測量等,有關應用涉及到的測量放大電路如:同相串聯差動運算放大電路、同相并聯差動運算放大電路、儀用放大電路、調幅電路、調頻電路等。