微加速度稱重傳感器的特殊設計

稱重傳感器，硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進入市場的微機械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度計，其典型產品是Kuehnel等人在1994年報道的AGXL50型，其結構包括4個部分：質量塊、檢測電容、力平衡執行器和信號處理電路，集成制作在3mm×3mm的硅片上，其中機械部分采用表面微機械工藝制作，電路部分采用BiCMOSIC技術制作。隨后Zimmermann等人報道了利用SIMOXSOI芯片制作的類似結構，Chan等人報道了測量范圍在5g和1g的改進型力平衡式加速度傳感器。這種傳感器在汽車的防撞氣袋控制等領域有廣泛的用途，成本在15美元以下。
根據傳感器或變送器的安裝場所有無易燃易爆氣體及危險程度，選擇隔爆型及本安型。????
（1）隔爆型在內部電路和周圍易燃氣體之間采取了隔離措施，允許使用在有一定危險性的環境里 。
（2）本安型即本質安全型的簡稱，依靠特殊設計的電路保證在正常工作及故障（意外短路或斷路）狀態下都不會引起燃爆事故，可用在十分易燃易爆的場所。?
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